КРИСТАЛІЧНА СТРУКТУРА БАЗОВИХ ШАРІВ ТЕЛУРИДУ КАДМІЮ ПЛАНАРНИХ ЕЛЕМЕНТІВ ЗАХИСТУ НВЧ АПАРАТУРИ ВІД ЕЛЕКТРОМАГНІТНИХ ІМПУЛЬСІВ - Хрипунов, Геннадій; Доброжан , Андрій; Хрипунов , Михайло; Шелест , Тетяна; Саприкін , Ростислав (Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Нові рішення у сучасних технологіях, 2024)
Для створення фізичних основ промислової технології планарних елементів захисту рентгендифрактометричним методом були досліджені базові шари телуриду кадмію, які були отримані методом термічного вакуумного випаровування при різних температурах підкладки на полікорових пластинах з прошарком молібдену. Було визначено температурні інтервали, які відповідають якісній зміні кристалічної структури плівок телуриду кадмію. Показано, що плівки телуриду кадмію, отримані при температурі підкладки, яка не перевищує 100оС, містять тільки гексагональну метастабільну фазу, мають переважну орієнтацію в напрямку [002], рівень мікродеформації становить 0.088 - 0.110, розмір областей когерентного розсіювання – 15.6 - 21.5 нм. Визначені періоди гексагональної кристалічної решітки a = 4.586 Å та с = 7.505 Å свідчать про наявність значних макродеформацій розтягнення. Збільшення температури осадження до 200оС призводить до появи поряд з метастабільною гексагональною фазою телуриду кадмію стабільної кубічної фази, орієнтованої в напрямку [111]. При цьому орієнтація гексагональної фази в напрямку [002] зменшується з GH = 1.74 до GH = 1.45. Поява кубічної фази також призводить до зменшення мікродеформацій та розмірів областей когерентного розсіювання гексагональної фази до 0.029 - 0.043 нм та 12.1 - 15.8 нм, відповідно. Подальше збільшення температури підкладки призводить до формування плівок телуриду кадмію, в яких наявна тільки стабільна кубічна фаза без переважної орієнтації. При цьому збільшення температури підкладки до 300оС призводить до зменшення макродеформацій кубічної фази, про що свідчить наближення періоду кристалічної решітки до теоретичного значення: з a = 6,4870 Å до a = 6.4858 Å. Таким чином, експериментально показано, що для забезпечення стабільних вихідних параметрів елементів захисту отримання плівок телуриду кадмію необхідно проводити при температурі підкладки 300оС, оскільки це унеможливлює наявність деградаційних процесів, обумовлених термодінамічно активованим перетворенням метастабільної гексагональної фази в стабільну кубічну фазу.